Informationen zum Infrastruktur-Team 1 (IST 1)
Das Infrastrukturteam 1 fokussiert die Methodiken und Herstellungsprozesse zu Mikro- und Nanostrukturierung. Dies umfasst sowohl die optische Lithografie als auch die Elektronenstrahllithografie. Das Infrastruktur Team 1 unterstützt die Arbeitsgruppen in der Herstellung von konventionellen periodisch gepolten Lithiumniobat- und Kaliumtitanylphosphat-Bauelementen, welche für den konventionellen, integrierten optischen Anwendungsbereich hergestellt werden. Darüber hinaus werden Nanostrukturen entwickelt und hergestellt, wie sie in nanostrukturierten Schaltungen beispielsweise Dünnschicht-Lithiumniobat und Metamaterialien angewendet werden. Ein weiteres Aufgabengebiet besteht in der Bereitstellung von Beschichtungstechniken für dielektrische und metallische Schichten. Des Weiteren umfasst das Aufgabengebiet des Infrastrukturteams 1 die lineare, nichtlineare, quantenoptische sowie elektro-optische Charakterisierung von Proben bei Raumtemperatur und weitergehend die Kombination solcher Proben mit elektro-optischen Schaltungen. Das Infrastrukturteam 1 besteht aus drei Postdocs, zwei Laboringenieur*innen und einem/einer Techniker*in.
Das Infrastruktur Team 1 wird die Betreuung und Wartung der folgenden Geräte des PhoQS übernehmen:
AFM, 2-Photonen Mikroskop, Ellipsometer und CW TiSa
Darüber hinaus werden bereits folgende assoziierte Geräte im Infrastrukturteam 1 betreut:
Masken Lithografie (IQO), Elektronenstrahllithografie (IQO), Profilometer Dektak (CeOPP), Dielektrische Aufdampfanalage Marquis (IQO), Sputteranlage Prevac (IQO), ICP (IQO, hqpd), Aufdampfanlage Winter (UNP)