Informationen zum Infrastruktur-Team 1 (IST 1)

Das Infrastrukturteam 1 fokussiert die Methodiken und Herstellungsprozesse zu Mikro- und Nanostrukturierung. Dies umfasst sowohl die optische Lithografie als auch die Elektronenstrahllithografie. Das Infrastruktur Team 1 unterstützt die Arbeitsgruppen in der Herstellung von konventionellen periodisch gepolten Lithiumniobat- und Kaliumtitanylphosphat-Bauelementen, welche für den konventionellen, integrierten optischen Anwendungsbereich hergestellt werden. Darüber hinaus werden Nanostrukturen entwickelt und hergestellt, wie sie in nanostrukturierten Schaltungen beispielsweise Dünnschicht-Lithiumniobat und Metamaterialien angewendet werden. Ein weiteres Aufgabengebiet besteht in der Bereitstellung von Beschichtungstechniken für dielektrische und metallische Schichten. Des Weiteren umfasst das Aufgabengebiet des Infrastrukturteams 1 die lineare, nichtlineare, quantenoptische sowie elektro-optische Charakterisierung von Proben bei Raumtemperatur und weitergehend die Kombination solcher Proben mit elektro-optischen Schaltungen. Das Infrastrukturteam 1 besteht aus drei Postdocs, zwei Laboringenieur*innen und einem/einer Techniker*in.

Das Infrastruktur Team 1 wird die Betreuung und Wartung der folgenden Geräte des PhoQS übernehmen:

AFM, 2-Photonen Mikroskop, Ellipsometer und CW TiSa

Darüber hinaus werden bereits folgende assoziierte Geräte im Infrastrukturteam 1 betreut:

Masken Lithografie (IQO), Elektronenstrahllithografie (IQO),  Profilometer Dektak (CeOPP), Dielektrische Aufdampfanalage Marquis (IQO), Sputteranlage Prevac (IQO), ICP (IQO, hqpd), Aufdampfanlage Winter (UNP)

Mitarbeitende des Infrastruktur-Teams 1

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Philipp Mues

Institut für Photonische Quantensysteme (PhoQS)

Probenherstellung und weitere Reinraumaufgaben

E-Mail schreiben +49 5251 60-4584

Bernhard Reineke

Ultraschnelle Nanophotonik

Infrastrukturteam "Technologie"

E-Mail schreiben +49 5251 60-4582