Allgemeine Informationen

Kurzname: EP4

Gerätename: Nanofilm_EP4

Hersteller: Accurion GmbH, Göttingen

Aufstellort: P8.2.35

Lieferdatum: 24.10.2022

Gerätebeschreibung:

Die abbildende Ellipsometrie analysiert die Änderung der Polarisation des von einer Probe reflektierten Lichts und liefert Informationen über ihre Morphologie (Dicke der Schichten) und optischen Eigenschaften (Brechungsindex, Absorption). Durch die Kombination von Ellipsometrie und Mikroskopie ermöglicht die abbildende Ellipsometrie die Charakterisierung von dünnen Schichten und strukturierten Materialien mit einer lateralen Auflösung von bis zu 1 µm. Ausgestattet mit dem Mueller-Matrix-Upgrade ermöglicht das Gerät die Charakterisierung von anisotropen dünnen Schichten und Substraten.

Spezifikationen

Messmodi: Nullungsellipsometrie, spektroskopische Ellipsometrie mit variablem Winkel, Brewster-Winkelmikroskopie, Mueller-Matrix-Ellipsometrie

Laterale Auflösung: 2 µm (10x Objektiv), 1 µm (20x Objektiv)

Beleuchtung: Lasergesteuerte Xenon-Lichtquelle (LDXe) mit Gittermonochromator (360 - 1700 nm) / Laserlichtquelle (50 mW @658 nm) / Knife Edge Illumination Modul für transparente Proben

Sicherheit: Verriegelung und Schrank für Lasersicherheit