Rasterkraftmikroskop (AFM)
Allgemeine Informationen
Kurzname: AFM Bruker
Gerätename: DIMENSION icon XR Bruker
Hersteller: Bruker Corporation
Aufstellort: P8 Reinraum
Lieferdatum: 19.06.2023
Gerätebeschreibung: Die Rasterkraftmikroskopie eignet sich besonders für die hochauflösende Topografiedarstellung von sehr glatten Oberflächen. Ein Cantilever mit einer Nanometerspitze tastet die Oberfläche ab. Die Kräfte, die zwischen der Spitze und der Probenoberfläche wirken, führen zu einer Verbiegung des Cantilevers. Dadurch können abhängig vom verwendeten Messmodus unterschiedliche Informationen wie die Oberflächentopografie oder Kraft-Weg-Kurven gewonnen werden.
Spezifikationen
Messmodi: Kontakt-Modus, Tapping-Modus, PeakForce Tapping-Modus
X/Y Scan Bereich (µm): ≤ 90 × 90
Z Scan Bereich (µm): ≥ 12
Drift: < 200 pm/min
Probengröße: ≤210 mm im Durchmesser, ≤ 15 mm in der Dicke
Motorisierte Position: 150 × 180 mm prüfbarer Bereich mit manuell drehbarem Spannfutter; 2 μm Wiederholgenauigkeit unidirektional; 3 μm Wiederholgenauigkeit bidirektional
Optik: Autofokus und digitaler Zoom; < 1 μm Auflösung; Bildfeld 180 x 1465 μm